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青岛微弘设备技术有限公司

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供应微弘HJL1000型led外延片退火炉

产品价格75000.00元/台

产品品牌青岛微弘

最小起订≥1 台

供货总量100 台

发货期限自买家付款之日起 天内发货

浏览次数815

企业旺铺https://www.springweb.cn/index.php?homepage=heshunhekeji

更新日期2022-09-14 05:02

企业主推产品

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青岛微弘设备技术有限公司

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联 系  人:刘先生(先生) 业务经理 

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联系地址:中国山东省青岛市城阳区前桃林工业园

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商品信息

基本参数

品牌:

青岛微弘

所在地:

山东 青岛市

起订:

≥1 台

供货总量:

100 台

有效期至:

长期有效

别名:

led合金炉

所属产业:

led光电
详细说明
别名 led合金炉
所属产业 led光电
工作电压 380V
电源电压 380V
适用范围 led外延片制造、led芯片制造
适用晶圆尺寸 2-6英寸
使用温度 200-800℃
控温精度 ±1℃
真空系统 可定制
材质 不锈钢
产地 山东
规格 HJL
用途 电子制造
适用行业 电子
品牌 青岛微弘
型号 HJL1000
加工定制
属性 气氛管式炉

Led合金退火炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-6英寸工艺尺寸。

■ 该系统主要功能如下   

◆ 全中文操作界面,可编辑参数,操作简便                   

◆ 可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步

◆ 工艺曲线的自动运行控制功能                              

◆ 自动运行中可暂停/继续运行功能             

◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能                  

◆ 智能升降温斜率控制功能

◆ PID参数自整定功能                 

◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能

◆ 系统故障的检测与报警功能                                

◆ 系统误差修正(单点或多点动态修正功能)

◆ 智能悬臂推拉舟控制功能                                  

◆ 工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器)

◆ 停电后断点继续运行功能等等                              

★ 该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。

 

■  主要技术参数          

◆ 可配工艺管数量:1~4管/台  

◆ 工作温度范围:200~1000℃  

◆ 恒温区长度及精度:300~800mm  800~1000℃±0.5℃

**可控升温速度:15℃min;      

**降温速度: 5℃min   

◆ 单点温度稳定性:800~1000℃±0.5℃/24h

◆ 真空系统:无油泵组(定制)

★ 可为用户量身定制非标准产品


 
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