RTP快速退火炉

材质	304不锈钢
产品认证	3C
尺寸	8英寸硅片
额定温度	1000（℃）
工作温度	定制
功率	10000
类型	退火炉
用途	快速退火、快速烧结
主要用途	实验室中8英寸硅片的快速退火、快速烧结、快速升降温
最大电压	380
炉膛最高温度	1200℃
品牌	晶伏华控
型号	JFHK系列
加工定制	是

一、8英寸RTP快速退火炉简介 JFHK系列RTP快速烧结炉、快速烧结炉、快速退火炉、RTP快速退火炉、RTP快速热处理炉、快速热处理炉、快速升降温炉仿造国外进口设备，采用大功率红外线辐射方式，配合腔体内镀金反射层，使单片硅片快速升温。降温时红外线灯管停止工作，大流量压缩空气（或冷却氮气）迅速带走腔体内热量，实现快速降温。
二、8英寸RTP快速退火炉主要技术指标（所有指标可定制）
1、外型形式：台式，单片硅片
2、硅片尺寸：8英寸
4、额定工作温度：1000 ℃
5、单点温度稳定性、重复性：±0.5 ℃
6、温度均匀性：±1℃（900℃以上）
7、升温速率：0 - 100 ℃/S 可调
8、降温速率：0 - 100 ℃/S 可调
9、恒温时间：0 - 600 S
10、加热功率：18根（每根1.5KW）红外线灯管，总功率27KW
11、铝合金炉膛：铝合金水冷镀金炉膛，导热性能好，有效提高降温速率
12、石英炉膛：石英炉膛为可拆卸结构，当炉膛内被烟雾污染，导致升温速率降低时，可将石英炉膛拆下清洗
北京晶伏华控电子设备有限公司定制：2-8英寸快速退火炉、RTP快速热处理炉、RTP快速退火炉、RTP快速烧结炉、快速退火炉、快速升降温炉、半导体焊接炉、IGBT焊接炉、真空焊接炉、实验室焊接炉、真空炉、烤盘炉、真空烤盘炉、CVD烤盘炉、MOCVD烤盘炉、全自动扩散炉、连续式退火炉、非晶带材退火炉、LPCVD、隧道炉等各种工业、实验室用热处理设备。