材质 | 不锈钢 |
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产地 | 河南 |
产品认证 | CE |
额定电压 | 220V |
适用对象 | 高校实验室 |
售后服务 | 终身保固 |
品牌 | 诺巴迪 |
加工定制 | 是 |
快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),在吸收了国际先进生产制造工艺的基础上自主研发了该款产品,拥有独立的发明 Z利。该设备不但拥有很快的升温速率500℃/S,而且在烧结工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的快降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,在绿色节能环保的基础上真正的实现了试样的极速升降温!
腔体采用了独有进气结构,内管进气,外管出气,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的利器。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的 准性。
应用领域
? 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火
? 石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长
? 快速热氧化 (RTO); 热氮化 (RTN);
? 硅化 (Silicidation);
? 扩散 (Diffusion);
? 离子注入后退火 (Implant Annealing);
? 电极合金化 (Contact Alloying);
? 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);
主要特点
? 极速升温500℃/S,极速降温100℃/S;
? 双层炉管结构,气氛与样品接触更均匀;
? 直接测量样品表面温度,测温更准;
? 炉膛根据设置可自动左右移动,可以满足更多的实验应用;
? 丰富的扩展接口,能够满足各类试验的需求;
基本参数
型 号 | 温度 | 升温速率 ℃/S | 管 径 | 处理晶片 | 加热区 | 恒温区±2℃ | 外形尺寸mm | 功率 | 重 量 | ||
|
|
| (内)mm | 尺寸 in | 长度mm | 长度mm | 长 | 高 | 深 |
| Kg(约) |
NBD-HR1200-110IT-170 | 1200℃ | 500 | 103 | ≤4″ | 200 | 120 | 800 | 540 | 750 | AC380V15kw | 40 |
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