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RTP快速退火炉图1

RTP快速退火炉

2022-09-14 04:288830已售
价格:9000.00/台
品牌:晶伏华控
材质:304不锈钢
产品认证:3C
起订:1台
供应:10台
发货:30天内
材质 304不锈钢
产品认证 3C
尺寸 8英寸硅片
额定温度 1000(℃)
工作温度 定制
功率 10000
类型 退火炉
用途 快速退火、快速烧结
主要用途 实验室中8英寸硅片的快速退火、快速烧结、快速升降温
最大电压 380
炉膛最高温度 1200℃
品牌 晶伏华控
型号 JFHK系列
加工定制


一、8英寸RTP快速退火炉简介 JFHK系列RTP快速烧结炉、快速烧结炉、快速退火炉、RTP快速退火炉、RTP快速热处理炉、快速热处理炉、快速升降温炉仿造国外进口设备,采用大功率红外线辐射方式,配合腔体内镀金反射层,使单片硅片快速升温。降温时红外线灯管停止工作,大流量压缩空气(或冷却氮气)迅速带走腔体内热量,实现快速降温。
二、8英寸RTP快速退火炉主要技术指标(所有指标可定制)
1、外型形式:台式,单片硅片
2、硅片尺寸:8英寸
4、额定工作温度:1000 ℃
5、单点温度稳定性、重复性:±0.5 ℃
6、温度均匀性:±1℃(900℃以上)
7、升温速率:0 - 100 ℃/S 可调
8、降温速率:0 - 100 ℃/S 可调
9、恒温时间:0 - 600 S
10、加热功率:18根(每根1.5KW)红外线灯管,总功率27KW
11、铝合金炉膛:铝合金水冷镀金炉膛,导热性能好,有效提高降温速率
12、石英炉膛:石英炉膛为可拆卸结构,当炉膛内被烟雾污染,导致升温速率降低时,可将石英炉膛拆下清洗
北京晶伏华控电子设备有限公司定制:2-8英寸快速退火炉、RTP快速热处理炉、RTP快速退火炉、RTP快速烧结炉、快速退火炉、快速升降温炉、半导体焊接炉、IGBT焊接炉、真空焊接炉、实验室焊接炉、真空炉、烤盘炉、真空烤盘炉、CVD烤盘炉、MOCVD烤盘炉、全自动扩散炉、连续式退火炉、非晶带材退火炉、LPCVD、隧道炉等各种工业、实验室用热处理设备。
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