| 材质 | 不锈钢 |
|---|---|
| 产地 | 河南 |
| 产品认证 | CE |
| 额定电压 | 220V |
| 适用对象 | 高校实验室 |
| 售后服务 | 终身保固 |
| 品牌 | 诺巴迪 |
| 加工定制 | 是 |
快速热处理退火炉简称 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），在吸收了国际先进生产制造工艺的基础上自主研发了该款产品，拥有独立的发明 Z利。该设备不但拥有很快的升温速率500℃/S，而且在烧结工艺运行完结，直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的快降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺，在绿色节能环保的基础上真正的实现了试样的极速升降温！
腔体采用了独有进气结构，内管进气，外管出气，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的利器。测温元件直接和试样接触，保证试样温度的 准性。
应用领域
? 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火
? 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长
? 快速热氧化 (RTO); 热氮化 (RTN);
? 硅化 (Silicidation);
? 扩散 (Diffusion);
? 离子注入后退火 (Implant Annealing);
? 电极合金化 (Contact Alloying);
? 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);
主要特点
? 极速升温500℃/S，极速降温100℃/S；
? 双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀；
? 直接测量样品表面温度，测温更准；
? 炉膛根据设置可自动左右移动，可以满足更多的实验应用；
? 丰富的扩展接口，能够满足各类试验的需求；
基本参数
| 型 号 | 温度 | 升温速率 ℃/S | 管 径 | 处理晶片 | 加热区 | 恒温区±2℃ | 外形尺寸mm | 功率 | 重 量 | ||
|
|
|
| (内)mm | 尺寸 in | 长度mm | 长度mm | 长 | 高 | 深 |
| Kg(约） |
| NBD-HR1200-110IT-170 | 1200℃ | 500 | 103 | ≤4″ | 200 | 120 | 800 | 540 | 750 | AC380V15kw | 40 |
| * 更多型号，欢迎来电垂询 | |||||||||||