| 别名 | led合金炉 |
|---|---|
| 所属产业 | led光电 |
| 工作电压 | 380V |
| 电源电压 | 380V |
| 适用范围 | led外延片制造、led芯片制造 |
| 适用晶圆尺寸 | 2-6英寸 |
| 使用温度 | 200-800℃ |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 真空系统 | 可定制 |
| 材质 | 不锈钢 |
| 产地 | 山东 |
| 规格 | HJL |
| 用途 | 电子制造 |
| 适用行业 | 电子 |
| 品牌 | 青岛微弘 |
| 型号 | HJL1000 |
| 加工定制 | 是 |
| 属性 | 气氛管式炉 |
Led合金退火炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，可用于2-6英寸工艺尺寸。
■ 该系统主要功能如下
◆ 全中文操作界面，可编辑参数，操作简便
◆ 可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步
◆ 工艺曲线的自动运行控制功能
◆ 自动运行中可暂停/继续运行功能
◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
◆ 智能升降温斜率控制功能
◆ PID参数自整定功能
◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能
◆ 系统故障的检测与报警功能
◆ 系统误差修正（单点或多点动态修正功能）
◆ 智能悬臂推拉舟控制功能
◆ 工艺气体的程序控制功能（电磁阀/质量流量控制器）
◆ 停电后断点继续运行功能等等
★ 该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。
■ 主要技术参数
◆ 可配工艺管数量：1～4管/台
◆ 工作温度范围：200～1000℃
◆ 恒温区长度及精度：300～800mm 800～1000℃±0.5℃
**可控升温速度：15℃min;
**降温速度： 5℃min
◆ 单点温度稳定性：800～1000℃±0.5℃/24h
◆ 真空系统：无油泵组（定制）
★ 可为用户量身定制非标准产品
